特长

洁净的真空

腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

特殊表面处理

• 主要部件表面进行硬质氧化处理，提高耐腐蚀性，同时减少泵体内部损伤。

• 此特性可选，标准品表面不处理。

配置变频器缩短排气时间

• 配置变频器后与粗抽泵同时启动，与标准泵相比有效缩短排气时间。

• 此配件可选，标准泵不配置。

用途

• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。

• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。

• 分析仪器、密封装置。

• 真空热处理炉、溶解炉。

• 其他各种真空装置。