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特长低振动 叶片型构造,大幅降低了振动传导较大的低频领域的振动。 内置式油雾过滤器 无需安装外置的油雾过滤装置,结构紧凑。 优秀的排水气能力 可直接搭载罗茨泵使用,连接简单方便。 有效的空气冷却,同时水冷可选 在非开放式厂房环境,选用水冷可有效节能。 用途• 镀膜、溅射、离子镀。 • 气体置换、充填、真空隔热。 • 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。 • 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。 • 检漏装置、真空成形、真空铸造。 • 真空包装、真空吸附、搬送、其它。 注意 * 1 为皮拉尼真空计测定值。 * 2 水蒸气容许值与水蒸气处理量是根据下表冷却水条件测定,并且冷却水的入口温度为26℃。 * 3 另备有耐压防爆型电机供选购,但宽电压不能对应。 * 4 备有其他种类的泵油,欢迎咨询。 * 5 吸排气口采用JIS规格的法兰时,接管安装尺寸会发生变化。 * 6 为极限压力时的数值。 |