主营目录
- 泵运行时,泄漏率低于1 x 10 - 7毫巴升x秒 - 1
- 运行期间容许油箱内低压(100毫巴)
- 无气镇设施
- 泵采用FPM(FKM)密封
- 氦气回收,3He的连续抽除,也包括3He 和4He的混和气体。
- 在这种应用中,比较昂贵的氦同位素3He或3He和4He的混合气体的连续抽除,一个周期会持续若干周。避免氦的泄露,并且防止造成污染。