卡死总是发生在转子、旋片与端面或中隔板之间或转子与泵腔之间，而这些部位正是决定一台真空泵的极限压强的关键部位，所以，一发生卡死现象，就要紧急停泵，排除故障，妥善修理，真空泵维修时千万不可再试车甚至蛮干，否则很易造成全束报废，无法修复。

真空泵由于某种原因引起电动机超负荷运转，甚至转不动，通常习惯上把这种现象就叫“卡死”。真空泵发生卡死的原因是：弹簧损坏，使旋片受力不匀；装配不当，使某局部受力；真空泵维修由于进气口的滤网丢失或损坏，使外部脏物，金属屑、玻璃屑等落入泵腔内。此外，泵转子、旋片端面与端盖间的间隙过小，摩擦发热使旋片伸长或过热过紧的摩擦加之旋片硬度过大，与毛刺互相碾括，使端面产生深划痕，最后烧结卡死。当轴和轴套配合过紧时，再加滑润油路不通畅，也会因互相粘碾卡死。泵长时间不用，泵腔内生锈；泵在湿度较大的环境下运转或抽除潮湿气体，使泵油变成乳浊液或泵油结垢甚至结壳，泵汕粘嚏过大(冬天)；转子在启动瞬间被打裂；有些泵的高、低真空室气道上有半圆槽，其上压的橡皮板被压得太紧，堵死了中间气道瓸路等等，均易使泵卡死。真空泵维修这种毛病常常是很危险的。因在卡死瞬间，由于转子使电动机超负荷或转不动，易使电机烧毁。即使不烧电机，如不及早停车修理，则会辗坏泵腔，打坏旋片，扭坏转子，烧坏端面等，其后果总是很不好的。